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电子工业用超纯水行业标准及应用范围
半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电 路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为 18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质,同时伴有对硅、尘粒、有机碳、微生物等物质含量的要 求各不一。
电子工业用超纯水的应用领域
1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
2、超纯材料和超纯化学试剂;
3、实验室和中试车间;
4、汽车、家电表面抛光处理;
5、光电产品、液晶显示器
6、其他高科技精微产品;
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